EE-SPY801 / 802 歐姆龍光電傳感器 晶圓片托架落座傳感器 晶圓片托架的落座檢測
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂
***的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
采用抗干擾光的變調(diào)光方式
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）
本體
| 形狀 |
形狀檢測方式 |
檢測距離 |
動作模式 |
導(dǎo)線長 |
型號 |
| important;">
|
important;">反射型 |
important;">0~3mm
（紅外光） |
important;">有晶圓片托架時ON |
important;">2ｍ |
EE-SPY801 2M |
| important;">
|
EE-SPY802 2M |
附件（另售）
| 名稱 |
型號 |
| important;">導(dǎo)槽 |
EE9-C01 |
| EE9-C02 |
注： 不具備傳感器的功能。
| 項目 型號 |
EE- SPY801/802 |
檢測距離
(標準檢測物體) |
0～5mm (反射率90% 白色畫紙15×15mm2)
0～3mm (反射率10% 黑紙15×15mm2) |
| 檢測物體 |
晶圓片托架(透明物體、不透明物體) |
| 動作指示燈 |
物體檢測時亮燈(橙色) |
| 光源(***大發(fā)光波長) |
GaAs紅外發(fā)光二級管(940nm) |
| 電源電壓 |
DC12～24V±10% 紋波(p-p) 5%以下 |
| 消耗電流 |
30mA以下 |
| 控制輸出 |
NPN集電極開路輸出、DC5～24V、100mA以下、關(guān)機電流0.5mA以下
殘留電壓：0.8V以下(負載電流100mA時)
殘留電壓：0.4V以下(負載電流40mA時) |
| 響應(yīng)時間 |
5ms以下 |
| 使用環(huán)境照度 |
受光面照度 白熾燈、太陽光：各3,000lx以下 |
| 環(huán)境溫度范圍 |
工作時：-10～+55℃、保存時：-25～+65℃ (無結(jié)冰) |
| 環(huán)境溫度范圍 |
工作時：5～85%RH、保存時：5～95%RH (無結(jié)露) |
| 振動(耐久) |
1～500Hz 單振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次掃頻、11min/掃頻 |
| 沖擊(耐久) |
500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 |
| 保護結(jié)構(gòu) |
IEC規(guī)格 IP30 |
| 連接方式 |
導(dǎo)線引出型(標準導(dǎo)線長2m) |
| 質(zhì)量(包裝后) |
本體(傳感器)：約43g、附件(導(dǎo)槽)：約9g |
| 材質(zhì) |
外殼 |
四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
| 底板 |
聚苯二甲酸丁二醇酯 |
| 附件 |
使用說明書 |
單位：（mm）
本體
附件（另售）
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