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發(fā)布信息

TTS系列機(jī)器人——川崎機(jī)器人

點(diǎn)擊圖片查看原圖
品牌: 川崎
系列: 川崎
單價(jià): 面議
所在地: 上海
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2023-10-19 11:15
瀏覽次數(shù): 133
詢價(jià)
店鋪基本資料信息
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

布局范例

一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到3個(gè)FOUP就訪問(wèn)所有的EFEM。

TTS系列機(jī)器人規(guī)格

項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn) 選項(xiàng)
型號(hào) TTS10 TTS20 -
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型、伸縮水平多關(guān)節(jié)型 -
單手臂 雙手臂 -
自由度(軸) 4 5 -
動(dòng)作范圍 θ1軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) (°) 340 -
Z軸 (上下JT3) (㎜) 740 -
θ2軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) (°) 340 -
H1軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) (°) 340 -
H2軸( 回転JT7) (°) - 340 -
*大臂展 (mm) 1,066 -
重復(fù)性 (mm)1 ±0.1 (晶圓中心) -
無(wú)塵度2 ISO1級(jí) -
抓手規(guī)格3 - - 邊緣夾持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分離電纜(1-5m)4 操作盒
軟件 標(biāo)準(zhǔn)軟件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊(cè) 使用說(shuō)明書 -
通信說(shuō)明書 -
通用軟件 (K-Fast) 導(dǎo)入說(shuō)明書 -
否則 - 校準(zhǔn)器
- 測(cè)繪傳感器

1:以ISO9283為基準(zhǔn)。

2:于川崎的無(wú)塵間內(nèi)測(cè)得。

3:標(biāo)準(zhǔn)式樣不含抓手。

4:分離電纜請(qǐng)從1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中選擇。

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