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發(fā)布信息

白光干涉測厚儀

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品牌: 中圖儀器
品牌: CHOTEST中圖儀器
型號: SuperViewW1
單價: 面議
所在地: 廣東 深圳市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2023-09-25 09:50
瀏覽次數(shù): 204
詢價
店鋪基本資料信息
 
產品詳細說明
SuperViewW1白光干涉測厚儀以白光干涉技術為原理,可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù),廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。如在半導體、精密加工及微納材料等領域,測光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

白光干涉輪廓儀,光學3D表面輪廓儀

產品功能

(1)SuperViewW1白光干涉測厚儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例:

白光干涉輪廓儀,光學3D表面輪廓儀

性能特色

1、高精度、高重復性

1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),***大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

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SuperViewW1白光干涉測厚儀通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

 

部分技術指標

 

型號

W1

光源 白光LED
影像系統(tǒng) 1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)

 

XY位移平臺

尺寸 320×200㎜
移動范圍 140×100㎜
負載 10kg
控制方式 電動
Z軸聚焦 行程 100㎜
控制方式 電動
臺階測量
可測樣品反射率 0.05%~***
主機尺寸 700×606×920㎜

 

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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