適用于真空環(huán)境內(nèi)***大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人！
雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載：95KG
動(dòng)作范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運(yùn)、潔凈室大動(dòng)作范圍：***大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。
手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。
| 項(xiàng)目 |
規(guī)格 |
備注 |
| 名稱 |
SEMISTAR-VD95D |
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| 機(jī)型 |
XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) |
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| 構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)形(4個(gè)自由度) |
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| 動(dòng)作范圍 |
L，R軸(伸縮) |
2300mm |
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| |
S軸(旋轉(zhuǎn)) |
-170°~+170° |
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| |
U軸(升降) |
150mm |
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動(dòng)作時(shí)間*1
(***高速度運(yùn)作時(shí)) |
L，R軸(伸縮) |
3.2秒以下 |
2300mm伸縮距離 |
| S軸(回轉(zhuǎn)) |
3.8秒以下 |
340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L，R=0) |
| U軸(升降) |
2.5秒以下 |
150mm升降距離 |
| 重復(fù)定位精度*2 |
各軸±0.3mm |
抓手安裝部分中心位置時(shí) |
| 手臂抖動(dòng)精度 |
±0.3mm以下 |
水平方向，抓手安裝部分中心位置時(shí) |
| 負(fù)載 |
95KG/手臂 |
含抓手重量 |
| 容許慣性力矩(CD2/4) |
***大118kg·m2 |
含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時(shí) |
| 耐真空度 |
1*10-6Pa |
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| 本體質(zhì)量 |
1500kg |
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| 適用控制柜式樣 |
ERDR-VD0095D-A00 |
三相AC200V，3.0kVA |
*1：動(dòng)作節(jié)拍不保證帶有基板時(shí)搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí)，會(huì)影響動(dòng)作節(jié)拍，請(qǐng)重新設(shè)定。
*2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動(dòng)作重復(fù)定位精度。但有無工件時(shí)負(fù)載變動(dòng)以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。
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