Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對(duì)過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá) ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。 730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計(jì)，它能***測量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。應(yīng)用·半導(dǎo)體處理室·石化·等離子體滅菌器·真空包裝，軍工領(lǐng)域，

730G020TAN22CT1K          730G10CTAD42CD9A     730G010TAD42CD9A      730G010TAN12CT1A      730G10CTAD42CD7A      730G010TAN12CD7A

730G020TAN22CD9A         730G-001K-A2M-2B-D9-A     730G10CTAN12CD7A

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特性
·高精度：±0.5% 讀數(shù)·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能·工作溫度補(bǔ)償范圍寬·回路噪聲低，響應(yīng)快·不易受環(huán)境條件變化影響·出色的抗過壓設(shè)計(jì)·符合 CE 和 RoHS 規(guī)范、

■ 耐化學(xué)品的 InconelTM 設(shè)計(jì)■ ***的低真空測量■ 專用壓力接頭適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。Inconel TM 材 料 結(jié) 合 全 焊 接 結(jié) 構(gòu)， 確 保 730 型 在 這 類應(yīng)用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同， 730 型測量直接壓力，不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計(jì)。