性能特點

1、輪廓/粗糙度測量功能：

高到亞納米級的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標；

2、自動化測量功能：

自動單區(qū)域測量/自動多區(qū)域測量/自動拼接測量；

3、復(fù)合型掃描算法：

集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無須切換，操作便捷；

4、雙重防撞保護功能：

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護，多一重安心；

5、環(huán)境噪聲檢測功能：

環(huán)境噪聲評價功能能夠定量檢測儀器當前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo)；

6、完善的售后服務(wù)體系：

設(shè)備故障遠程&現(xiàn)場解決，軟件免費升級。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。