三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8651參數(shù)：

真空度(Pa)：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；

可動(dòng)范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

***大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；

***大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；

***大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

***大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；

***大速度「噪音」(dB)：80 or less

***大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1

三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8652參數(shù)：

真空度：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；

動(dòng)作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

***大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；

***大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；

***大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

***大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；

***大速度「噪音」(dB)：80 or less；

***大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；

***大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)

真空機(jī)器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和液晶工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運(yùn)輸。真空搬運(yùn)機(jī)器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等，因此搬運(yùn)時(shí)保持晶圓在機(jī)器手上的穩(wěn)定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時(shí)的速度搬運(yùn)晶圓。此次，通過改進(jìn)保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具，即使高速搬運(yùn)，機(jī)器手上的晶圓也不會(huì)錯(cuò)位。這樣，可***大限度發(fā)揮真空機(jī)器人的搬運(yùn)速度。三協(xié)真空機(jī)器人可以在10^-7 pa的真空環(huán)境下運(yùn)行。耐溫達(dá)200工。此系列真空機(jī)器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧稀?/span>