適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級(jí)版,引領(lǐng)業(yè)界的高性能!供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)。
半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人
負(fù)載:-
動(dòng)作范圍:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬運(yùn)、半導(dǎo)體
大動(dòng)作范圍:EFEM模塊移動(dòng)距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備,無(wú)需使用底架,極大地提高了搬運(yùn)效率。
高速搬運(yùn):300枚/小時(shí)
適用:300mm-450mm晶片搬運(yùn)
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