山武azbil 原日本YAMATAKE 高精度位置檢測(cè)傳感器 K1G系列

型號(hào)：K1G-C04 K1G-C04E  K1G-S07 K1G-S15 

主要特點(diǎn)：

1、薄膜厚度檢測(cè)：控制器可接4組傳感器，在多個(gè)位置實(shí)現(xiàn)同步檢測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

2、晶圓對(duì)準(zhǔn)：可高精度檢測(cè)透明度高的玻璃晶圓和砷化鎵晶圓。

3、薄膜糾偏檢測(cè)：利用控制器的演算功能，采用2組傳感器可同時(shí)實(shí)現(xiàn)糾偏檢測(cè)和薄膜寬幅檢測(cè)。

4、玻璃基板的異常判斷：250μs的響應(yīng)速度，不遺漏輸送狀態(tài)中的任何玻璃基板異常，配備事件記錄功能。

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