簡介
適用于真空環(huán)境內(nèi)*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!
主要參數(shù)
機器人型號: |
SEMISTAR-VD95D |
構造: |
水平多關節(jié)形(4個自由度) |
動態(tài)范圍: |
2300mm |
負載: |
95kg/手臂 |
本體質(zhì)量: |
1500kg |
重復定位精度: |
±0.3mm |
用途: |
搬運、潔凈室 |
特點
大動作范圍:*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。