霍尼韋爾提供：

• 先進的芯片設計、制造工藝和微結(jié)構(gòu)技術
• 加快響應時間并實現(xiàn)更低的功耗
• 多種端口類型，提供更高的應用靈活性

氣體質(zhì)量流量傳感器	霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列——高精度，±50 SCCM 至 ±750 SCCM	霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列——高精度，10 SLPM 至 300 SLPM	AWM1000 系列 查找產(chǎn)品	AWM2000 系列 查找產(chǎn)品	AWM3000 系列 查找產(chǎn)品	AWM5000 系列 查找產(chǎn)品	AWM700 系列 查找產(chǎn)品	AWM40000 系列 查找產(chǎn)品	AWM90000 系列 查找產(chǎn)品
信號調(diào)節(jié)	放大、補償	放大、補償	非放大、補償	非放大、補償	放大	放大	放大	非放大（補償）或放大	非補償式
技術	具有絕熱加熱器的硅片	具有絕熱加熱器的硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片	硅片
流量/壓力范圍	0 SCCM 至 ±50 SCCM 0 SCCM 至 ±100 SCCM 0 SCCM 至 ±200 SCCM 0 SCCM 至 ±400 SCCM 0 SCCM 至 ±750 SCCM	0 SLPM 至 10 SLPM 0 SLPM 至 15 SLPM 0 SLPM 至 20 SLPM 0 SLPM 至 50 SLPM 0 SLPM 至 100 SLPM 0 SLPM 至 200 SLPM 0 SLPM 至 300 SLPM	±200 SCCM 1000 SCCM 至 -600 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20] ±10,0 mbar [4.0 inH20]	±30 SCCM ±1000 SCCM ±10,0 mbar [4.0 inH20]	30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM ±0 mbar 至 1,25 mbar [0 inH20 至 0.5 inH20] ±0 mbar 至 5,0 mbar [0 inH20 至 2 inH20] 5,0 mbar [2.0 inH20]	0 SLPM 至 5,0 SLPM 0 SLPM 至 10,0 SLPM 0 SLPM 至 15,0 SLPM 0 SLPM 至 20,0 SLPM	300 SLPM	±25,0 SCCM 1,0 SLPM 6,0 SLPM	±200 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20]
總誤差帶	低至 ±0.25 %FSS	10 SLPM 至 200 SLPM：4.0% 讀數(shù) 300 SLPM:7.0% 讀數(shù)	—	—	—	—	—	—	—
輸出	模擬 (Vdc)，數(shù)字（I2C）	數(shù)字（I2C）	模擬	模擬	模擬	模擬	模擬	模擬	模擬
功耗	3.3 Vdc：典型值：40 mW（無負載）（模擬） 典型值：23 mW（無負載）（數(shù)字） 5.0 Vdc：典型值：55 mW（無負載）（模擬） 典型值：38 mW（無負載）（數(shù)字）	3 Vdc：*大 60 mW 10 Vdc：*大 200 mW	典型值為 30 mW	典型值為 30 mW	典型值為 50 mW 或 100 mW	*大 100 mW	*大 60 mW	*大 60 mW，*大 75 mW	典型值為 50 mW
端口類型	長接口緊固件安裝 短接口緊固件安裝 短接口卡扣式安裝	歧管安裝 22 mm OD 錐形螺頭 G 3/8 母螺紋接頭	直插	直插	直插	1/4 in-18 NPT	22 mm，錐形	多面	平行
支持的介質(zhì)	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體	無腐蝕性干燥氣體
補償溫度范圍	0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	-0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]	10°C 至 40°C [50°F 至 104°F]	-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]	—
工作溫度范圍	-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]	-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]