通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂

獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調(diào)光方式

使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）