ITO導(dǎo)電玻璃是一種既透明又導(dǎo)電的玻璃, 它采用磁控濺射沉積成膜技術(shù), 以ITO 材料作為濺射靶材, 在玻璃基板上生成一層很薄的ITO 膜。這層ITO 膜同時(shí)具有良好的導(dǎo)電性和透光性, 適于制作透明顯示電極, 是平板顯示器生產(chǎn)的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm, 它具有重量輕、透明度高、平整度高、有一定的機(jī)械硬度、容易切割加工等特點(diǎn), 因此被廣泛應(yīng)用于平板顯示器上。ITO 導(dǎo)電玻璃隨著20世紀(jì)70 年代初LCD 顯示器的興起至今已經(jīng)歷了40 多年的歷程, 并從過(guò)去只能生產(chǎn)高電阻、小尺寸、普通表面、黑白顯示的產(chǎn)品, 發(fā)展到了現(xiàn)在能夠生產(chǎn)低電阻、大尺寸、拋光表面、彩色顯示的產(chǎn)品。
早期的ITO 導(dǎo)電玻璃是采用銦錫合金作為濺射靶材, 通過(guò)氧化反應(yīng)而成膜的。此種靶材對(duì)濺射工藝控制有極其嚴(yán)格的要求, 尤其是氧氣流量的稍許波動(dòng), 就可能形成氧化反應(yīng)不充分, 而使膜層透過(guò)率和蝕刻性能變差; 或因氧氣流量較大, 而造成靶面" 中毒", 使濺射效率下降, 從而使膜層變薄、電阻升高。鑒于此, 材料商開(kāi)發(fā)出了氧化靶, 即將高純度的氧化銦和氧化錫超細(xì)粉末, 按一定比例充分混合好, 再采用粉末冶金工藝燒結(jié)成固體靶材。隨著制作工藝的不斷改進(jìn), ITO 靶材密度逐步提高, 現(xiàn)在已達(dá)到99.5%以上, 基本滿(mǎn)足了ITO 導(dǎo)電玻璃的需要。ITO 導(dǎo)電玻璃的性能指標(biāo)主要有基板玻璃的外形尺寸、表面電阻( 或方塊電阻) 、透光率、膜層厚度、蝕刻性能和可靠性等。
ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類(lèi)液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN、TFT液晶顯示器和透明線路板。ITO導(dǎo)電玻璃按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN、TFT液晶顯示器產(chǎn)品。ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。
二、TP-ITO導(dǎo)電玻璃
觸摸屏雖然不是顯示器件, 但作為顯示器件輸入功能組件, 其應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛,發(fā)展迅速, 已成為當(dāng)今顯示器不可或缺的部件。隨著觸摸屏產(chǎn)業(yè)不斷地發(fā)展壯大,TP-LCD導(dǎo)電玻璃產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也水漲船高。