摘  要：為了對(duì)徽機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的機(jī)械動(dòng)態(tài)性能進(jìn)行測(cè)試，結(jié)臺(tái)自動(dòng)調(diào)焦、機(jī)器顯徽視覺(jué)和頻閃照明成像等多項(xiàng)技術(shù)，設(shè)計(jì)了基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺(jué)的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)，可進(jìn)行MEMS平面運(yùn)動(dòng)和離面運(yùn)動(dòng)的測(cè)量。該文介紹了系統(tǒng)的設(shè)計(jì)組成和關(guān)鍵技術(shù)，并針對(duì)系統(tǒng)做了驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，平面亞像素位移算法的匹配精度可達(dá)l／50個(gè)像素，在系統(tǒng)25倍的放大倍率下，平面剛體運(yùn)動(dòng)測(cè)量分辨率達(dá)到7．2 nm×8．3 nm；自動(dòng)調(diào)焦過(guò)程迅速，焦平面定位精確，離面運(yùn)動(dòng)測(cè)量分辨率達(dá)到0．1μm。
關(guān)鍵詞：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS);顯微視覺(jué);自動(dòng)調(diào)焦;頻閃成像;亞像素算法

    隨著微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)MEMS器件性能的研究，特別是對(duì)其機(jī)械動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試，正成為一個(gè)越來(lái)越引人注目的課題。
    MEMS器件本身的微小尺寸和高頻特性，決定了傳統(tǒng)的壓電、應(yīng)變等接觸式測(cè)量方法無(wú)法勝任測(cè)量。而掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡等昂貴的微觀測(cè)試設(shè)備也無(wú)法實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)試的要求。鑒于MEMS動(dòng)態(tài)特性測(cè)試的復(fù)雜性和特殊性，開(kāi)發(fā)新型的基于光學(xué)非接觸式測(cè)量的儀器也越來(lái)越重要。其中頻閃視覺(jué)測(cè)量和頻閃干涉測(cè)量代表了目前最先進(jìn)的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)。美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校的傳感器和執(zhí)行器中心開(kāi)發(fā)了頻閃顯微干涉系統(tǒng)，使用頻閃成像和干涉相移的技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)納米精度的平面和離面運(yùn)動(dòng)測(cè)量。美國(guó)麻省理工學(xué)院同樣開(kāi)發(fā)了基于機(jī)器視覺(jué)和干涉測(cè)量的測(cè)試系統(tǒng)，還研制了計(jì)算機(jī)微視覺(jué)系統(tǒng)，并對(duì)兩者進(jìn)行了比較，其系統(tǒng)能夠測(cè)量周期重復(fù)運(yùn)動(dòng)過(guò)程，平面運(yùn)動(dòng)測(cè)量精度優(yōu)于5 nm。國(guó)內(nèi)，天津大學(xué)開(kāi)發(fā)了基于計(jì)算機(jī)視覺(jué)的MEMS測(cè)試系統(tǒng)，通過(guò)模糊圖像合成等技術(shù)，和引入Mirau干涉儀來(lái)實(shí)現(xiàn)MEMS器件的測(cè)量。華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院微系統(tǒng)研究中心開(kāi)發(fā)了MEMS三維靜動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)，集成了頻閃成像和顯微干涉技術(shù)，可進(jìn)行MEMS三維靜動(dòng)態(tài)特性的測(cè)量。
    本文基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺(jué)的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)，通過(guò)采集MEMS器件顯微視覺(jué)圖像，利用平面亞像素運(yùn)動(dòng)位移算法和焦平面的定位，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)MEMS器件平面和離面運(yùn)動(dòng)的測(cè)試。本文將介紹基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺(jué)的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)的系統(tǒng)組成及其關(guān)鍵的測(cè)量技術(shù)和數(shù)據(jù)處理算法，并對(duì)系統(tǒng)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析。

1 系統(tǒng)設(shè)計(jì)與組成
    系統(tǒng)由光學(xué)顯微鏡、自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)、三維精密工作臺(tái)、MEMS器件激勵(lì)、頻閃照明成像系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制及集成測(cè)試軟件組成，圖1為系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。

    整個(gè)系統(tǒng)放置在氣浮隔振臺(tái)上，以隔絕外界振動(dòng)對(duì)測(cè)試的干擾。在平面運(yùn)動(dòng)測(cè)量時(shí)，MEMS器件置于三維精密工作臺(tái)上，通過(guò)計(jì)算機(jī)控制步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦，使得被測(cè)MEMS器件成像于焦平面附近，此時(shí)CCD攝像機(jī)就獲取了MEMS器件經(jīng)顯微鏡放大后清晰的視覺(jué)圖像。模擬輸出卡輸出的周期信號(hào)經(jīng)功率放大后激勵(lì)MEMS器件，使其作周期性運(yùn)動(dòng)。同時(shí)模擬輸出卡輸出同頻的脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)頻閃光源，利用頻閃成像技術(shù)拍攝MEMS器件在高頻運(yùn)動(dòng)下“凍結(jié)”的圖像。通過(guò)調(diào)整頻閃驅(qū)動(dòng)信號(hào)和MEMS器件激勵(lì)信號(hào)之間的相差，可拍攝運(yùn)動(dòng)周期內(nèi)不同時(shí)刻不同位置的圖像。對(duì)采集的圖．像使用亞像素運(yùn)動(dòng)位移算法計(jì)算不同時(shí)刻的相對(duì)位移，即可獲得被測(cè)MEMS器件在運(yùn)動(dòng)周期內(nèi)不同時(shí)刻的平面位移。在離面運(yùn)動(dòng)測(cè)量中，利用三維精密工作臺(tái)的z向移動(dòng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)焦，對(duì)MEMS器件運(yùn)動(dòng)周期內(nèi)每一時(shí)刻的焦平面位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位，焦平面之間的位置差即為不同時(shí)刻MEMS器件離面運(yùn)動(dòng)相對(duì)位移。通過(guò)對(duì)平面運(yùn)動(dòng)和離面運(yùn)動(dòng)的描述,最終可獲取被測(cè)MEMS器件三維的機(jī)械動(dòng)態(tài)特性參數(shù)。
    MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)典型的光機(jī)電集成系統(tǒng)，為保證系統(tǒng)的靈活性和擴(kuò)充性，滿足自動(dòng)化測(cè)試的要求，總體上采用虛擬儀器結(jié)構(gòu)，采用LABVIEW來(lái)架構(gòu)軟件平臺(tái)。軟件平臺(tái)的主要功能為：設(shè)置系統(tǒng)參數(shù)(激勵(lì)頻率、輸出相移、同步參數(shù)等)、實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)焦、采集MEMS器件圖像、對(duì)圖像進(jìn)行預(yù)處理(去噪，校正)、圖像分析處理獲取三維運(yùn)動(dòng)特性、誤差分析、生成測(cè)試報(bào)告和圖形界面顯示。

2 關(guān)鍵技術(shù)與數(shù)據(jù)處理算法
2．1 頻閃成像原理
    在MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試過(guò)程中，由于MEMS器件的運(yùn)動(dòng)頻率都比較高，一般在1 kHz到l MHz之間。在本系統(tǒng)中引入頻閃成像技術(shù)以實(shí)現(xiàn)測(cè)試目的。
    頻閃成像技術(shù)是在一定頻率快速閃動(dòng)的光源照明下觀測(cè)高速旋轉(zhuǎn)或運(yùn)動(dòng)的物體，當(dāng)頻閃光源的閃動(dòng)頻率嚴(yán)格與被測(cè)物體的轉(zhuǎn)動(dòng)或運(yùn)動(dòng)速度相等或者是其整數(shù)倍時(shí)，所看到物體是相對(duì)靜止的。這種視覺(jué)暫留現(xiàn)象，稱為“頻閃效應(yīng)”。頻閃效應(yīng)能夠直接觀測(cè)高速運(yùn)動(dòng)物體的運(yùn)行狀況，使一些不可見(jiàn)的現(xiàn)象“可見(jiàn)”。
    圖2所示為頻閃成像原理在本系統(tǒng)中的應(yīng)用，即以一定頻率的信號(hào)激勵(lì)MEMS器件，并使用同頻小占空比脈沖驅(qū)動(dòng)頻閃光源，這樣在CCD攝像機(jī)的曝光時(shí)間里，器件被照明的時(shí)間非常短，剩下的絕大部分時(shí)間器件沒(méi)有光源照明，處于暗場(chǎng)狀態(tài)，攝像機(jī)的感光面只在光照的那段時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生光積分。當(dāng)照明時(shí)間足夠短時(shí)，可以認(rèn)為拍攝到的是MEMS器件在這段時(shí)間內(nèi)被“凍結(jié)”的圖像，運(yùn)動(dòng)位移限制在很小的范圍內(nèi)，甚至認(rèn)為基本沒(méi)有運(yùn)動(dòng)，得到器件高速運(yùn)動(dòng)中某個(gè)相位上的圖像。通過(guò)調(diào)整頻閃光源驅(qū)動(dòng)信號(hào)和MEMS器件激勵(lì)信號(hào)之間的相差，即可獲得被測(cè)MEMS器件在每個(gè)運(yùn)動(dòng)位置上的圖像。根據(jù)其原理，頻閃成像需要MEMS器件作周期運(yùn)動(dòng)或可重復(fù)的瞬時(shí)運(yùn)動(dòng)；并且為了準(zhǔn)確描述器件的運(yùn)動(dòng)，需要精密控制MEMS激勵(lì)信號(hào)和頻閃驅(qū)動(dòng)信號(hào)之間的同步和相移。

2.2 平面運(yùn)動(dòng)位移算法

   為了從MEMS器件視覺(jué)圖像中估計(jì)平面剛體運(yùn)動(dòng)，需要利用一定的數(shù)字圖像處理技術(shù)來(lái)提取其運(yùn)動(dòng)位移。在實(shí)際應(yīng)用中，整像素的位移是很容易獲得的。但是實(shí)際的位移值一般不恰好為整像素，為提高數(shù)字圖像相關(guān)方法的測(cè)量精度，在本系統(tǒng)中，使用數(shù)字圖像相關(guān)求出像素級(jí)的位移再對(duì)其所得的相關(guān)系數(shù)進(jìn)行二次曲面擬合的方法求取亞像素位移，具有抗噪能力強(qiáng)