對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車(chē)部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理,可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年首次推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來(lái),已經(jīng)累計(jì)銷(xiāo)售6000多臺(tái),得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求,精工開(kāi)發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過(guò)自動(dòng)定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上,就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此,無(wú)需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作,大大提高了樣品測(cè)量的操作性。
近年來(lái),隨著檢測(cè)零件的微小化,對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且,配備有新開(kāi)發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量,可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
[SFT-110的主要特征]
1. 通過(guò)自動(dòng)定位功能提高操作性
測(cè)量樣品時(shí),以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。
2. 微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高
通過(guò)縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。
3. 多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量
使用薄膜FP法軟件,即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。
4. 廣域觀察系統(tǒng)(選配)
可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測(cè)量位置。
5. 對(duì)應(yīng)大型印刷線(xiàn)路板(選配)
可對(duì)600×600mm的大型印刷線(xiàn)路板進(jìn)行測(cè)量。
6. 低價(jià)位
與以往機(jī)型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
[主要產(chǎn)品規(guī)格]
檢測(cè)器: 比例計(jì)數(shù)管
X射線(xiàn)源: 空冷式小型X射線(xiàn)管
準(zhǔn)直器: 0.1、0.2mmφ2種
樣品觀察: CCD攝像頭
樣品臺(tái)移動(dòng)量:250(X)×200(Y)mm
樣品最大高度:150mm