熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的,該儀表采用恒溫差法對(duì)氣體進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便,測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成,儀表工作時(shí),一個(gè)傳感器不間斷地測(cè)量介質(zhì)溫度T1;另一個(gè)傳感器自加熱到高于介質(zhì)溫度T2,它用于感測(cè)流體流速,稱為速度傳感器。該溫度△T=T2-T1, T2>T1, 當(dāng)有流體流過時(shí),由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走,使T2的溫度下降,若要使OT保持不變,就要提高T2的供電電流,氣體流動(dòng)速度熱快,帶走的熱量也就越多,氣體流速和增加的熱量存在固定的函數(shù)關(guān)系,這就是恒溫差原理。